第一一一八章 浸没式光刻系统遇到难题

换源: 节点四 节点十二 节点五 节点六 节点二

     　　800nm制程工艺的专利技术对于GCA来说如同鸡肋，但对于BSEC如同神助，掌握后就能跨越1um制程工艺，拥有800nm制程工艺技术。

拥有了193nm的ArFi准分子激光器的制造技术和800nm制程工艺的专利技术，但BSEC还不能生产自主知识产权的1um制程工艺的光刻机。

为了将来不被美国政府卡脖子，未雨绸缪，BSEC要掌握生产光刻机的三大核心技术：光源系统、光学系统和...